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          ZYGO激光干涉儀

          (圖1)

          ZYGO激光干涉儀,用于精確測量光學零件表面的面型精度、平行度等指標。有效測量口徑 6〞,面型的谷峰值(PV 值)測量示值誤差為 ±0.008wave,測試重復性 δ 小于 5%。

          測試費用:200元/表面,量大面議。



          所屬單位:中國電子科技集團公司第十一研究所
          聯系方式:010-84321451    張川

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